微型半导体芯片全自动测试线

微型半导体芯片全自动测试
产品大小仅3*3 mm
测试项目:电性能、光性能、热性能
 

该产线主要用于微型半导体芯片全自动测试。产线采用模块化的设计,由共5种不同功能的测试模块和上下料模块组成。

 

测试功能

◆ 电性能测试

◆ 光性能测试

◆ 热性能测试

 

结构特点

◆ 产线由上下料模块、测试模块(测试机柜、传输机柜)组成,可根据不同测试需求柔性组合;

◆ 复合型机械手:搭载光学定位系统、真空吸附系统、高精度定位、防呆识别、条码识别;

◆ 循环式设计,载具可在测试线中循环利用,无须人工添加;

◆ 配备风机过滤机组(FFU)可满足Class 1000 洁净室要求。